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下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能！ダブルアームクリーンロボット
『SR2160-310』は、反転ユニット、マッピングユニットが付属した リンク式ダブルアームクリーンロボットです。 濡れウェハ対策として下側の反転軸には濡れたウェハの真空吸着が可能。 ロボット駆動部への水の浸入防止のためアーム駆動部と本体駆動部に 水受けを設置しました。 【特長】 ■反転ユニット、マッピングユニット付属 ■アーム駆動部と本体駆動部に水受けを設置 ■特殊セラミックチャック付属（オプション） ■位置決めセンサ付属（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボット
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各種センサ装備 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全軸2Pステッピングモータ仕様！リンク式シングルアームクリーンロボット
『SR1160-310』は、ハンドが180°回転可能な リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンド部にはロータリーユニットが付属。 他のウェハサイズ用ハンドには取付部のブロック交換で対応できます。 オプションで、位置決め、圧空確認などの各種センサが付属します。 【特長】 ■ハンド：KUMADE FORK KMWF-12SF ■ハンド部にはロータリーユニット付属 ■各種センサ付属（位置決め、圧空確認）※オプション ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■ハンドが180°回転可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用
『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハンドはステッピングモータ駆動で180度反転可能！リンク式クリーンロボット
『PR1111-200』は、全軸2Pステッピングモータ仕様の リンク式シングルアームクリーンロボットです。 ハンドはステッピングモータ駆動によって180度反転可能。 回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、180度位置センサを 装備しています。 【特長】 ■全軸2Pステッピングモータ仕様 ■回転軸は原点センサ、モータの脱調検出センサ、 180度位置センサを装備 ■チャック：アルミニウムとステンレスの積層構造による特殊I型チャック ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
